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高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器

簡要描述:操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器,該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-12-01
  • 訪  問  量:1623

詳細(xì)介紹

品牌HUACE/北京華測電動機(jī)功率*kW
外形尺寸*mm重量*kg
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子,電氣

操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器

操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器概述:

●Huace-600高溫四探針測量系統(tǒng),該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。

●采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱為一體的的高溫測試系統(tǒng),滿足半導(dǎo)體及導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求,通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測量導(dǎo)電材料電阻和電阻率,可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時(shí)間變化的曲 線. 目前主要針對圓片、方塊、長條等樣品進(jìn)行測試,可以廣泛用于碳系導(dǎo)電材料、 金屬系導(dǎo)電材料、 金屬氧化物系導(dǎo)電材料、結(jié) 構(gòu)型高分子導(dǎo)電材料、復(fù)合導(dǎo)電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲 線。

儀器特點(diǎn):

1、可以測量高溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;

2、軟件、觸摸屏、高溫爐等集成于一體,可以進(jìn)行可視化操作;

3、可實(shí)現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量;同時(shí)保證探針在高溫下不氧化;

4、采用labview軟件開發(fā),操控性、兼容性好、方便升級;

5、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓,探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象;

6、控溫和測溫采用同一個(gè)傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度;

7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表;

特點(diǎn):

多級循環(huán)溫度采集技術(shù): 設(shè)備采用PID算法,以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值??販睾蜏y溫采用同一個(gè)傳感器,保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實(shí)際溫度.

雙系統(tǒng)互鎖技術(shù)及隔離屏蔽技術(shù): 本設(shè)備不僅具備過壓、過流保護(hù)系統(tǒng),雙系統(tǒng)互鎖機(jī)制,當(dāng)任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí),將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 ,以及電流抗干擾的屏蔽。

SPWM電子升壓技術(shù) 目前設(shè)備大都采用SPWM電子升壓技術(shù),這一技術(shù)具有升壓速度平穩(wěn),精度高。便于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)是調(diào)壓器。

技術(shù)參數(shù)

●測量溫度:室溫---600°C ;


●控溫精度:±1℃ ,


●顯示精度:±0.1℃;


●升溫斜率:1-5°C/min;


●測量精度:0.05%;


●電阻率:10-5 ~105 Ω.cm ;


●電導(dǎo)率:10-5 ~105 s/cm


●方塊電阻:10-4 ~106 Ω/□;


●電阻:10-5 ~105 Ω;


●探針間距:2±0.01mm;


●探針壓力:0~2kg可調(diào);


●針間絕緣電阻:≥1000MΩ;


●真空腔體漏率標(biāo)準(zhǔn)要小于10-9 Pa?m3/s ;


●樣品:直徑15~30mm,厚度小于4mm;


●設(shè)備尺寸:680mmX450mmX400mm





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